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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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charleswang

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗

如题,请教高人, TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗。 谢谢
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银虫 (正式写手)


dawnlight(金币+1,VIP+0):3x,感谢分享~,欢迎常来 4-16 10:35
TiO2的熔点太高,一般很少有人用热蒸发的方法来做薄膜,也很少有人用电子束蒸发的方法,呵呵,使用Sputter或者旋涂的方法比较多,这方面的文献很多,
2楼2009-04-16 09:17:56
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COOLT

木虫 (著名写手)

电子束蒸发的方法倒是有人做,不过不是主流,楼上说的对。磁控溅射是比较好的方法!
comeon!
3楼2009-04-16 09:32:25
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zwx1986

铜虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
ddx-k(金币+1,VIP+0):能说下你们公司做这个薄膜是干什么用的吗? 6-29 10:04
我以前在的公司是用电子枪加热蒸发镀膜的,有镀TiO2.蒸发速度很慢,温度太高的话又容易分解!
4楼2009-06-24 16:15:11
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Sahnrain

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
现在一般全部采用磁控溅射镀膜了。
5楼2009-06-29 09:57:53
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by zwx1986 at 2009-6-24 16:15:
我以前在的公司是用电子枪加热蒸发镀膜的,有镀TiO2.蒸发速度很慢,温度太高的话又容易分解!

能说下你们公司做这个薄膜是干什么用的吗?
6楼2009-06-29 10:03:45
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wore2627

铁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by Sahnrain at 2009-6-29 09:57:
现在一般全部采用磁控溅射镀膜了。

想问一下溅射的时候用的是什么靶材?
7楼2009-06-30 09:22:58
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fengyun6658

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
用钛靶材然后马弗炉中氧化就可以了。
8楼2009-06-30 11:59:20
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farawaygoing

木虫 (著名写手)

木虫之虫

热蒸镀当然可以,现在做TiO2膜的方法已经很成熟了,取决于你的具体要求。
9楼2009-06-30 14:40:46
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