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charleswang

铁杆木虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗

如题，请教高人， TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗。谢谢

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1楼 2009-04-15 19:22:57

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COOLT

木虫 (著名写手)

应助: 2 (幼儿园)
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专业: 光子与光电子器件

电子束蒸发的方法倒是有人做，不过不是主流，楼上说的对。磁控溅射是比较好的方法！

comeon！

3楼2009-04-16 09:32:25

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查看全部 9 个回答

英语拼音

银虫 (正式写手)

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★
dawnlight(金币+1,VIP+0):3x,感谢分享~，欢迎常来 4-16 10:35

TiO2的熔点太高，一般很少有人用热蒸发的方法来做薄膜，也很少有人用电子束蒸发的方法，呵呵，使用Sputter或者旋涂的方法比较多，这方面的文献很多，

赞一下(10人)

2楼2009-04-16 09:17:56

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zwx1986

铜虫 (初入文坛)

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注册: 2008-11-21

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
ddx-k(金币+1,VIP+0):能说下你们公司做这个薄膜是干什么用的吗？ 6-29 10:04

我以前在的公司是用电子枪加热蒸发镀膜的，有镀TiO2.蒸发速度很慢，温度太高的话又容易分解!

赞一下(11人)

4楼2009-06-24 16:15:11

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Sahnrain

铁杆木虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 半导体光电子器件

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

现在一般全部采用磁控溅射镀膜了。

赞一下(1人)

5楼2009-06-29 09:57:53

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