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【求助】TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗
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charleswang
铁杆木虫
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注册: 2006-09-10
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
[交流]
【求助】TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗
如题,请教高人, TiO2可以用热蒸镀的方法来成膜吗。 谢谢
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1楼
2009-04-15 19:22:57
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COOLT
木虫
(著名写手)
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帖子: 1484
在线: 530.9小时
虫号: 158073
注册: 2006-01-06
性别: GG
专业: 光子与光电子器件
电子束蒸发的方法倒是有人做,不过不是主流,楼上说的对。磁控溅射是比较好的方法!
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comeon!
3楼
2009-04-16 09:32:25
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银虫
(正式写手)
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虫号: 495173
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★
dawnlight(金币
+1
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):3x,感谢分享~,欢迎常来
4-16 10:35
TiO2的熔点太高,一般很少有人用热蒸发的方法来做薄膜,也很少有人用电子束蒸发的方法,呵呵,使用Sputter或者旋涂的方法比较多,这方面的文献很多,
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2楼
2009-04-16 09:17:56
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zwx1986
铜虫
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★ ★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
ddx-k(金币
+1
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+0
):能说下你们公司做这个薄膜是干什么用的吗?
6-29 10:04
我以前在的公司是用电子枪加热蒸发镀膜的,有镀TiO2.蒸发速度很慢,温度太高的话又容易分解!
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4楼
2009-06-24 16:15:11
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Sahnrain
铁杆木虫
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专业: 半导体光电子器件
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小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
现在一般全部采用磁控溅射镀膜了。
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5楼
2009-06-29 09:57:53
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