| 查看: 2368 | 回复: 6 | ||
[求助]
在Si片上电镀铜，总是镀不上，求助！ 已有2人参与
|
|
研究Cu互连工艺中扩散阻挡层的影响，采用磁控溅射的方式在Si片上镀了一层Ta，然后需要在Ta上镀Cu，考虑用电镀的方式，用了比较普遍的酸性硫酸铜镀液，但总是镀不上，尝试在Ta上先用磁控溅射沉积了较薄的Cu晶种层，然后电镀Cu也不行。请问应该怎么办？？ 电镀前的预处理很简单，丙酮、去离子水先后超声清洗，然后吹干就开始电镀。是预处理没做好吗，应该怎么办，请大神给点意见！！！！ |
回复此楼» 猜你喜欢
【广州】仲恺农业工程学院城乡建设学院土木水利专业硕士招大量调剂，线上复试
已经有0人回复
-
【广州】仲恺农业工程学院城乡建设学院土木水利专业硕士招大量调剂，线上复试
已经有0人回复
-
建筑环境与结构工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有135人回复
-
广西大学土木博士招生
已经有5人回复
-
E口2026重点国际合作项目
已经有2人回复
-
2027 博士自荐
已经有2人回复
-
学术人生就像一场马拉松，不松懈、不放弃！祝愿所有为学术梦想而打拼的人都能如愿！
已经有441人回复
-
哈尔滨工业大学博士申请考核制9月29日截止
已经有14人回复
-
哈尔滨工业大学博士申请考核制延长至10月7日截止
已经有0人回复
-
土木申博自荐
已经有2人回复
perry_ping 
新虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 17210.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 3003
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
2楼2018-11-06 09:12:55
3楼2018-11-13 11:26:03
perry_ping
新虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 17210.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 3003
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
4楼2018-11-14 07:10:35
at2046
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 238.7
- 帖子: 41
- 在线: 15.4小时
- 虫号: 2028428
- 注册: 2012-09-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
5楼2019-01-14 10:22:12
lzj624918476
银虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3836.6
- 红花: 1
- 帖子: 517
- 在线: 258.1小时
- 虫号: 1589233
- 注册: 2012-01-28
- 性别: GG
- 专业: 电化学
6楼2019-08-10 18:30:47
hollya
至尊木虫 (文坛精英)
葛城?{美
- 应助: 744 (博后)
- 金币: 44166.3
- 散金: 1143
- 红花: 127
- 沙发: 780
- 帖子: 24910
- 在线: 835小时
- 虫号: 458790
- 注册: 2007-11-13
- 性别: MM
- 专业: 计算机软件
7楼2019-08-14 02:12:50
