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凉天1209

新虫 (初入文坛)

[求助] SU~8光刻胶显影后脱胶 已有3人参与

我们是用su-8光刻胶制作微流控芯片的,需要在硅片上利用su8光刻胶做图形,但是用Su-8~2150光刻胶做到150um厚度时,显影完都一切正常,但是在一加热后就会脱胶,有没有人知道是什么原因?怎么解决呢?

@yswyx 发自小木虫Android客户端
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lxh0410

木虫 (正式写手)

蛀虫

片子未完全干燥就旋凃光刻胶

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2楼2018-08-29 08:03:26
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凉天1209

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lxh0410 at 2018-08-29 08:03:26
片子未完全干燥就旋凃光刻胶

200℃的热板上有干燥30分钟以上,这样够吗。?

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3楼2018-08-29 10:17:12
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不妨加点增粘剂HDMS看看
4楼2018-08-29 10:46:36
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Aronyu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
增粘剂一般正光胶用的比较多,不过确实可以试试!光刻前烘一次,显影之前有没有再次烘干?还有就是你的光胶厚度150um,比这个小的厚度做的正常么?估计是厚度太厚了,加热后温度可能不适合,导致容易脱落,需要调一下温度!
5楼2018-08-29 10:54:40
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微流控小刘

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

昨天刚做了200um厚度,应该还好啊,2150甩完多放一会儿吧。
6楼2019-08-24 12:57:04
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小孩儿0123

铜虫 (小有名气)

也有可能在涂胶前湿度太大,如果这样,可以先加热一下板子,差不多室温后再涂胶
7楼2019-09-08 19:36:19
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