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SU～8光刻胶显影后脱胶 已有3人参与
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我们是用su-8光刻胶制作微流控芯片的，需要在硅片上利用su8光刻胶做图形，但是用Su-8～2150光刻胶做到150um厚度时，显影完都一切正常，但是在一加热后就会脱胶，有没有人知道是什么原因？怎么解决呢？ @yswyx 发自小木虫Android客户端 |
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lxh0410
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2楼2018-08-29 08:03:26
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