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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU～8光刻胶显影后脱胶
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凉天1209

新虫 (初入文坛)

[求助] SU～8光刻胶显影后脱胶 已有3人参与

我们是用su-8光刻胶制作微流控芯片的，需要在硅片上利用su8光刻胶做图形，但是用Su-8～2150光刻胶做到150um厚度时，显影完都一切正常，但是在一加热后就会脱胶，有没有人知道是什么原因？怎么解决呢？

@yswyx 发自小木虫Android客户端
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1楼 2018-08-28 18:51:53
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lxh0410

木虫 (正式写手)

蛀虫
片子未完全干燥就旋凃光刻胶

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2楼2018-08-29 08:03:26
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凉天1209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lxh0410 at 2018-08-29 08:03:26
片子未完全干燥就旋凃光刻胶

200℃的热板上有干燥30分钟以上，这样够吗。？

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3楼2018-08-29 10:17:12
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不妨加点增粘剂HDMS看看
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4楼2018-08-29 10:46:36
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Aronyu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
增粘剂一般正光胶用的比较多，不过确实可以试试！光刻前烘一次，显影之前有没有再次烘干？还有就是你的光胶厚度150um，比这个小的厚度做的正常么？估计是厚度太厚了，加热后温度可能不适合，导致容易脱落，需要调一下温度！
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5楼2018-08-29 10:54:40
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微流控小刘

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

昨天刚做了200um厚度，应该还好啊，2150甩完多放一会儿吧。
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6楼2019-08-24 12:57:04
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小孩儿0123

铜虫 (小有名气)
也有可能在涂胶前湿度太大，如果这样，可以先加热一下板子，差不多室温后再涂胶
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7楼2019-09-08 19:36:19
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