应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU～8光刻胶显影后脱胶
汕头大学海洋科学接受调剂
71/1返回列表
查看: 2092  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

凉天1209

新虫 (初入文坛)

[求助] SU～8光刻胶显影后脱胶 已有3人参与

我们是用su-8光刻胶制作微流控芯片的，需要在硅片上利用su8光刻胶做图形，但是用Su-8～2150光刻胶做到150um厚度时，显影完都一切正常，但是在一加热后就会脱胶，有没有人知道是什么原因？怎么解决呢？

@yswyx 发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2018-08-28 18:51:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lxh0410

木虫 (正式写手)

蛀虫
片子未完全干燥就旋凃光刻胶

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2018-08-29 08:03:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

凉天1209

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lxh0410 at 2018-08-29 08:03:26
片子未完全干燥就旋凃光刻胶

200℃的热板上有干燥30分钟以上，这样够吗。？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2018-08-29 10:17:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不妨加点增粘剂HDMS看看
赞一下 回复此楼
4楼2018-08-29 10:46:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Aronyu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
增粘剂一般正光胶用的比较多，不过确实可以试试！光刻前烘一次，显影之前有没有再次烘干？还有就是你的光胶厚度150um，比这个小的厚度做的正常么？估计是厚度太厚了，加热后温度可能不适合，导致容易脱落，需要调一下温度！
赞一下 回复此楼
5楼2018-08-29 10:54:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

微流控小刘

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

昨天刚做了200um厚度，应该还好啊，2150甩完多放一会儿吧。
赞一下 回复此楼
6楼2019-08-24 12:57:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小孩儿0123

铜虫 (小有名气)
也有可能在涂胶前湿度太大，如果这样，可以先加热一下板子，差不多室温后再涂胶
赞一下 回复此楼
7楼2019-09-08 19:36:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 凉天1209 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料工程281还有调剂机会吗 +41 xaw. 2026-04-11 42/2100 2026-04-14 20:05 by honglizhao
[考研] 085500求调剂材料 +11 易11122 2026-04-09 11/550 2026-04-14 17:59 by lhj2009
[考研] 08工学 309分求调剂 +12 Yin DY 2026-04-08 12/600 2026-04-14 17:49 by lhj2009
[考研] 化学070300 求调剂 +23 哈哈哈^_^ 2026-04-12 23/1150 2026-04-14 16:30 by zhouxiaoyu
[考研] 求调剂 +16 雪逢冬 2026-04-10 16/800 2026-04-14 14:27 by 逆水乘风
[考研] 085600材料与化工349分求调剂 +16 李木子啊哈哈 2026-04-12 17/850 2026-04-14 09:11 by fenglj492
[考研] 332求调剂 +15 蕉蕉123 2026-04-10 15/750 2026-04-13 23:12 by pies112
[考研] 本科西工大 324求调剂 +5 wysyjs25 2026-04-10 5/250 2026-04-13 23:08 by pies112
[考研] 求调剂 +16 张番茄不炒蛋 2026-04-10 17/850 2026-04-12 13:58 by 熬夜成！
[找工作] 山东高校教师考核超级无底线，员工过不下去啦 +4 qut2026 2026-04-09 9/450 2026-04-12 00:54 by qut2026
[考研] 086003调剂求助 +21 苏弋万 2026-04-09 22/1100 2026-04-11 20:25 by dongdian1
[考研] 0859，337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 11:34 by caotw2020
[考研] 275求调剂 +9 1624447980 2026-04-08 10/500 2026-04-11 10:20 by Delta2012
[考研] 085402通信工程调剂，有4项学科竞赛国奖（电赛国二），硕士研究生调剂自荐信。 +5 m永o不v言o弃m 2026-04-09 5/250 2026-04-11 09:33 by zhq0425
[考研] 085506-求调剂-285分 +3 雷欧飞踢 2026-04-08 3/150 2026-04-11 08:37 by zhq0425
[考研] 一志愿京区985，085401电子信息，本科电子信息 +3 阳光开朗的男孩 2026-04-10 3/150 2026-04-10 16:29 by sophia_93
[考研] 江苏大学 工科调剂 捡漏 +3 Evan_Liu 2026-04-09 5/250 2026-04-10 10:22 by Evan_Liu
[考研] 一志愿中科大070300化学，314分求调剂 +12 wakeluofu 2026-04-09 12/600 2026-04-10 09:57 by liuhuiying09
[考研] 311求调剂 +6 surte 2026-04-08 13/650 2026-04-09 14:00 by surte
[考研] 考研求调剂 +4 雯??? 2026-04-08 4/200 2026-04-08 21:44 by 土木硕士招生
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭