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碧海蓝天5087

[交流] 【讨论】ZnO薄膜的硬度

一般来说,用磁控溅射的方法制备的ZnO薄膜的硬度大概是多少?谢谢!
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spin5112

金虫 (小有名气)

是想知道film与substrate的结合力吗?这个bonding恐怕与hardness没有直接关系吧。
4楼2009-04-14 06:30:02
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spin5112

金虫 (小有名气)

★ ★ ★
ufoer(金币+3,VIP+0):积极回复 4-14 01:41
用nanoindentation测量吧。
ZnO作为常见的功能材料,不知道楼主为什么关心它的力学性能,呵呵。
2楼2009-04-13 03:18:18
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by spin5112 at 2009-4-13 03:18:
用nanoindentation测量吧。
ZnO作为常见的功能材料,不知道楼主为什么关心它的力学性能,呵呵。

就是想了解一下它的结合力怎么样?
3楼2009-04-13 11:47:58
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gold1987

木虫 (职业作家)

我认同我楼上的观点
结合力和衬底的表面,溅射时衬底温度,溅射速率等有关吧


一般来说,溅射的薄膜那么薄
应该不存在结合力的问题啊
5楼2009-04-14 07:50:38
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