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【讨论】ZnO薄膜的硬度
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| 一般来说，用磁控溅射的方法制备的ZnO薄膜的硬度大概是多少？谢谢！ |
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peel test是表征film/substrate bonding (interfacial toughness)的最简单直观的方法，不过对结合力很好的体系不太适用。 楼主可以看看这篇文章 D.D. Maio and S. G. Roberts, ‘Measuring fracture toughness of coatings using focused-ion-beam-machined microbeams’, J. Mater. Res., 20 [2]: 299-302 条件允许的话可以试一试这种microbeam方法，在film/substrate处precrack，然后用nanoindentation，计算得到interfacial toughness. 不过这种方法制样比较麻烦，不知道对楼主来说，值不值得花这么大的力气得到interfacial toughness. |
9楼2009-04-14 18:07:00
10楼2009-04-14 18:12:16