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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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碧海蓝天5087

[交流] 【讨论】ZnO薄膜的硬度

一般来说,用磁控溅射的方法制备的ZnO薄膜的硬度大概是多少?谢谢!
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spin5112

金虫 (小有名气)

★ ★ ★
ufoer(金币+3,VIP+0):积极回复 4-14 01:41
用nanoindentation测量吧。
ZnO作为常见的功能材料,不知道楼主为什么关心它的力学性能,呵呵。
2楼2009-04-13 03:18:18
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by spin5112 at 2009-4-13 03:18:
用nanoindentation测量吧。
ZnO作为常见的功能材料,不知道楼主为什么关心它的力学性能,呵呵。

就是想了解一下它的结合力怎么样?
3楼2009-04-13 11:47:58
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spin5112

金虫 (小有名气)

是想知道film与substrate的结合力吗?这个bonding恐怕与hardness没有直接关系吧。
4楼2009-04-14 06:30:02
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gold1987

木虫 (职业作家)

我认同我楼上的观点
结合力和衬底的表面,溅射时衬底温度,溅射速率等有关吧


一般来说,溅射的薄膜那么薄
应该不存在结合力的问题啊
5楼2009-04-14 07:50:38
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by gold1987 at 2009-4-14 07:50:
我认同我楼上的观点
结合力和衬底的表面,溅射时衬底温度,溅射速率等有关吧


一般来说,溅射的薄膜那么薄
应该不存在结合力的问题啊

我溅射了有1微米左右,应该可以体现出来了吧!
6楼2009-04-14 08:43:45
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech

都得镀上了试试,最实用的就是拿个胶带粘上去然后扯下来,看看就知道了
材料分析测试技术群:101717240。
7楼2009-04-14 09:56:15
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by wudong863 at 2009-4-14 09:56:
都得镀上了试试,最实用的就是拿个胶带粘上去然后扯下来,看看就知道了

不会吧,这样要是能粘下来的话那说明结合力很差啊!
8楼2009-04-14 17:44:22
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spin5112

金虫 (小有名气)

peel test是表征film/substrate bonding (interfacial toughness)的最简单直观的方法,不过对结合力很好的体系不太适用。
楼主可以看看这篇文章 D.D. Maio and S. G. Roberts, ‘Measuring fracture toughness of coatings using focused-ion-beam-machined microbeams’, J. Mater. Res., 20 [2]: 299-302
条件允许的话可以试一试这种microbeam方法,在film/substrate处precrack,然后用nanoindentation,计算得到interfacial toughness.
不过这种方法制样比较麻烦,不知道对楼主来说,值不值得花这么大的力气得到interfacial toughness.
9楼2009-04-14 18:07:00
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by spin5112 at 2009-4-14 18:07:
peel test是表征film/substrate bonding (interfacial toughness)的最简单直观的方法,不过对结合力很好的体系不太适用。
楼主可以看看这篇文章 D.D. Maio and S. G. Roberts, ‘Measuring fracture toughness o ...

非常感谢啊,尽管我没有太弄懂您的意思!
10楼2009-04-14 18:12:16
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