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daling8210

铁虫 (正式写手)

[交流] 【求助】[求助]如何用XRD测薄膜的厚度和密度?

看到一篇文献上说用XRD测薄膜的厚度和密度,具体不知道是怎么测量、分析的,请问这里有没有人知道或做过这种测试。谢谢大家 !
应该没看错吧?The structure of the
films was studied by X-ray refraction (XRD) using a Siemens
D5000 diffractometer with Cu Kα radiation  (λ=1.5418A) which was also used to perform the X-ray reflection measurements to
determine the thickness and the density of the films.这句话在第二页右上图的下边。不知我是否理解错误,请大家指点。谢谢

[ Last edited by daling8210 on 2009-4-3 at 18:56 ]
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

好像不能你是否看错了?或者你吧你的文献传上来,让大家看看。
2楼2009-04-03 15:48:07
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daling8210

铁虫 (正式写手)

大家帮忙看看阿
3楼2009-04-03 22:10:58
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

我看过了是x射线反射谱,可不是衍射谱(XRD)
4楼2009-04-04 14:00:18
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II


zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流 4-4 20:47
我给了一片中文的文献就是说反射谱测薄膜的厚度、密度的,你可以看下。
5楼2009-04-04 14:04:23
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life


ddx-k(金币+1,VIP+0):O(∩_∩)O谢谢 4-5 17:21
是的,楼主的测试方法不是XRD,应该叫做XRR,这种测试有点类似与小角SAXRD,结合公式拟合,能定出薄膜的厚度
xxxxxxxxxxxxx
6楼2009-04-04 23:37:46
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daling8210

铁虫 (正式写手)

是我弄错了,谢谢各位版主的答复!谢谢!
7楼2009-04-05 15:31:45
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