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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】[求助]如何用XRD测薄膜的厚度和密度？
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daling8210

铁虫 (正式写手)

[交流] 【求助】[求助]如何用XRD测薄膜的厚度和密度？

看到一篇文献上说用XRD测薄膜的厚度和密度，具体不知道是怎么测量、分析的，请问这里有没有人知道或做过这种测试。谢谢大家 ！
应该没看错吧？The structure of the
films was studied by X-ray refraction (XRD) using a Siemens
D5000 diffractometer with Cu Kα radiation  (λ=1.5418A) which was also used to perform the X-ray reflection measurements to
determine the thickness and the density of the films.这句话在第二页右上图的下边。不知我是否理解错误，请大家指点。谢谢

[ Last edited by daling8210 on 2009-4-3 at 18:56 ]
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1楼 2009-04-03 13:23:11
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
我看过了是x射线反射谱，可不是衍射谱（XRD）
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4楼2009-04-04 14:00:18
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
好像不能你是否看错了？或者你吧你的文献传上来，让大家看看。
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2楼2009-04-03 15:48:07
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★
zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流 4-4 20:47
我给了一片中文的文献就是说反射谱测薄膜的厚度、密度的，你可以看下。
赞一下(10人) 回复此楼
5楼2009-04-04 14:04:23
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life
★
ddx-k(金币+1,VIP+0):O(∩_∩)O谢谢 4-5 17:21
是的，楼主的测试方法不是XRD，应该叫做XRR，这种测试有点类似与小角SAXRD，结合公式拟合，能定出薄膜的厚度
赞一下(10人) 回复此楼
xxxxxxxxxxxxx
6楼2009-04-04 23:37:46
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