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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 超薄AAO如何去除？
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mjsophia1990

木虫 (正式写手)
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超薄AAO如何去除？
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超薄AAO转移到硅片上，用AAO做掩模进行刻蚀，刻蚀以后想把AAO去除。但怎么都去不掉，用10wt%的磷酸50℃泡了四五个小时了还能去除。用NaOH的话会把下面的硅片一起腐蚀。
所以想问一下有没有人遇到同样的情况，或者哪位大神指点一下，究竟应该用什么溶液能够去除AAO同时又不腐蚀下面的硅片。不胜感激！

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[ Last edited by mjsophia1990 on 2018-7-12 at 13:57 ]
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1楼 2018-07-11 17:22:28
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
我记得氧化铝可以用磷酸+硝酸腐蚀，反正我的工程师是这么直接腐蚀蓝宝石的。
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21楼2018-07-17 15:41:47
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