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汕头大学海洋科学接受调剂
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mjsophia1990

木虫 (正式写手)


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超薄AAO如何去除?
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超薄AAO转移到硅片上,用AAO做掩模进行刻蚀,刻蚀以后想把AAO去除。但怎么都去不掉,用10wt%的磷酸50℃泡了四五个小时了还能去除。用NaOH的话会把下面的硅片一起腐蚀。
所以想问一下有没有人遇到同样的情况,或者哪位大神指点一下,究竟应该用什么溶液能够去除AAO同时又不腐蚀下面的硅片。不胜感激!

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[ Last edited by mjsophia1990 on 2018-7-12 at 13:57 ]
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我记得氧化铝可以用磷酸+硝酸腐蚀,反正我的工程师是这么直接腐蚀蓝宝石的。
21楼2018-07-17 15:41:47
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C104140168楼
2018-07-11 17:27   回复  
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pandongzi2楼
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山鹰082212楼
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Yeven_Wong13楼
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细细la6楼
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李小罗4楼
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upc_jinhui10楼
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