应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 超薄AAO如何去除？
241/1返回列表
查看: 1792  |  回复: 23
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

mjsophia1990

木虫 (正式写手)
已领完
超薄AAO如何去除？
领取红包 (小木虫手机app专属红包)

扫一扫，下载小木虫客户端

超薄AAO转移到硅片上，用AAO做掩模进行刻蚀，刻蚀以后想把AAO去除。但怎么都去不掉，用10wt%的磷酸50℃泡了四五个小时了还能去除。用NaOH的话会把下面的硅片一起腐蚀。
所以想问一下有没有人遇到同样的情况，或者哪位大神指点一下，究竟应该用什么溶液能够去除AAO同时又不腐蚀下面的硅片。不胜感激！

发自小木虫Android客户端

[ Last edited by mjsophia1990 on 2018-7-12 at 13:57 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2018-07-11 17:22:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mjsophia1990

木虫 (正式写手)
有没有哪位大神能够指导一下啊

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
20楼2018-07-11 18:32:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
我记得氧化铝可以用磷酸+硝酸腐蚀，反正我的工程师是这么直接腐蚀蓝宝石的。
赞一下 回复此楼
21楼2018-07-17 15:41:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mjsophia1990

木虫 (正式写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by yswyx at 2018-07-17 15:41:47
我记得氧化铝可以用磷酸+硝酸腐蚀，反正我的工程师是这么直接腐蚀蓝宝石的。

哦哦，那您知道具体的配比是怎样的吗？感激不尽

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
22楼2018-07-18 09:26:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mmzlmzl

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
22楼: Originally posted by mjsophia1990 at 2018-07-18 09:26:00
哦哦，那您知道具体的配比是怎样的吗？感激不尽
...

亲最后怎么反应掉的AAO膜呢？我也在用同样的实验做，发现NaOH不是很好。我之前用胶布摘。
赞一下 回复此楼
23楼2019-05-15 20:16:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaolmimzD

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
6%磷酸和1.8%磷酸混合液，泡个60度30分钟试试或者60度振30分钟。不过估计去的不彻底。
赞一下 回复此楼
24楼2019-05-17 15:11:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
pandongzi2楼
2018-07-11 17:22   回复  
mjsophia1990(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
hdchina20103楼
2018-07-11 17:23   回复  
mjsophia1990(金币+5): 谢谢参与
已获得5个金币 发自小木虫IOS客户端
李小罗4楼
2018-07-11 17:24   回复  
mjsophia1990(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
润色论文5楼
2018-07-11 17:25   回复  
mjsophia1990(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫IOS客户端
细细la6楼
2018-07-11 17:27   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
小新心啊7楼
2018-07-11 17:27   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
C104140168楼
2018-07-11 17:27   回复  
mjsophia1990(金币+5): 谢谢参与
已获得5个金币 发自小木虫IOS客户端
wangxiaomail9楼
2018-07-11 17:28   回复  
mjsophia1990(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫Android客户端
upc_jinhui10楼
2018-07-11 17:30   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
小猪猪爱吃肉11楼
2018-07-11 17:31   回复  
mjsophia1990(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
山鹰082212楼
2018-07-11 17:36   回复  
mjsophia1990(金币+5): 谢谢参与
已获得5个金币 发自小木虫Android客户端
Yeven_Wong13楼
2018-07-11 17:36   回复  
mjsophia1990(金币+4): 谢谢参与
已获得4个金币 发自小木虫IOS客户端
化一而万14楼
2018-07-11 17:37   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
xcbao15楼
2018-07-11 17:40   回复  
mjsophia1990(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
zhaodi18637716楼
2018-07-11 17:41   回复  
mjsophia1990(金币+4): 谢谢参与
已获得4个金币 发自小木虫Android客户端
太公年轻时17楼
2018-07-11 17:42   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
欲穷千里的18楼
2018-07-11 17:42   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
流水江南19楼
2018-07-11 17:43   回复  
mjsophia1990(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
相关版块跳转 我要订阅楼主 mjsophia1990 的主题更新
241/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭