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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 超薄AAO如何去除？
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mjsophia1990

木虫 (正式写手)
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超薄AAO如何去除？
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超薄AAO转移到硅片上，用AAO做掩模进行刻蚀，刻蚀以后想把AAO去除。但怎么都去不掉，用10wt%的磷酸50℃泡了四五个小时了还能去除。用NaOH的话会把下面的硅片一起腐蚀。
所以想问一下有没有人遇到同样的情况，或者哪位大神指点一下，究竟应该用什么溶液能够去除AAO同时又不腐蚀下面的硅片。不胜感激！

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[ Last edited by mjsophia1990 on 2018-7-12 at 13:57 ]
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1楼 2018-07-11 17:22:28
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mjsophia1990

木虫 (正式写手)
有没有哪位大神能够指导一下啊

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20楼2018-07-11 18:32:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
我记得氧化铝可以用磷酸+硝酸腐蚀，反正我的工程师是这么直接腐蚀蓝宝石的。
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21楼2018-07-17 15:41:47
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mjsophia1990

木虫 (正式写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by yswyx at 2018-07-17 15:41:47
我记得氧化铝可以用磷酸+硝酸腐蚀，反正我的工程师是这么直接腐蚀蓝宝石的。

哦哦，那您知道具体的配比是怎样的吗？感激不尽

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22楼2018-07-18 09:26:00
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mmzlmzl

铁虫 (初入文坛)
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引用回帖:
22楼: Originally posted by mjsophia1990 at 2018-07-18 09:26:00
哦哦，那您知道具体的配比是怎样的吗？感激不尽
...

亲最后怎么反应掉的AAO膜呢？我也在用同样的实验做，发现NaOH不是很好。我之前用胶布摘。
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23楼2019-05-15 20:16:12
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xiaolmimzD

铜虫 (小有名气)
★
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6%磷酸和1.8%磷酸混合液，泡个60度30分钟试试或者60度振30分钟。不过估计去的不彻底。
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24楼2019-05-17 15:11:25
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pandongzi2楼
2018-07-11 17:22   回复  
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hdchina20103楼
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小新心啊7楼
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C104140168楼
2018-07-11 17:27   回复  
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wangxiaomail9楼
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upc_jinhui10楼
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小猪猪爱吃肉11楼
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山鹰082212楼
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Yeven_Wong13楼
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化一而万14楼
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xcbao15楼
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zhaodi18637716楼
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