应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 超薄AAO如何去除？
51/1返回列表
查看: 1606  |  回复: 23
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

mjsophia1990

木虫 (正式写手)
已领完
超薄AAO如何去除？
领取红包 (小木虫手机app专属红包)

扫一扫，下载小木虫客户端

超薄AAO转移到硅片上，用AAO做掩模进行刻蚀，刻蚀以后想把AAO去除。但怎么都去不掉，用10wt%的磷酸50℃泡了四五个小时了还能去除。用NaOH的话会把下面的硅片一起腐蚀。
所以想问一下有没有人遇到同样的情况，或者哪位大神指点一下，究竟应该用什么溶液能够去除AAO同时又不腐蚀下面的硅片。不胜感激！

发自小木虫Android客户端

[ Last edited by mjsophia1990 on 2018-7-12 at 13:57 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2018-07-11 17:22:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaolmimzD

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
6%磷酸和1.8%磷酸混合液，泡个60度30分钟试试或者60度振30分钟。不过估计去的不彻底。
赞一下 回复此楼
24楼2019-05-17 15:11:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 24 个回答
简单回复
C104140168楼
2018-07-11 17:27   回复  
mjsophia1990(金币+5): 谢谢参与
已获得5个金币 发自小木虫IOS客户端
hdchina20103楼
2018-07-11 17:23   回复  
mjsophia1990(金币+5): 谢谢参与
已获得5个金币 发自小木虫IOS客户端
pandongzi2楼
2018-07-11 17:22   回复  
mjsophia1990(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫IOS客户端
山鹰082212楼
2018-07-11 17:36   回复  
mjsophia1990(金币+5): 谢谢参与
已获得5个金币 发自小木虫Android客户端
wangxiaomail9楼
2018-07-11 17:28   回复  
mjsophia1990(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫Android客户端
化一而万14楼
2018-07-11 17:37   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
小猪猪爱吃肉11楼
2018-07-11 17:31   回复  
mjsophia1990(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
Yeven_Wong13楼
2018-07-11 17:36   回复  
mjsophia1990(金币+4): 谢谢参与
已获得4个金币 发自小木虫IOS客户端
细细la6楼
2018-07-11 17:27   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
润色论文5楼
2018-07-11 17:25   回复  
mjsophia1990(金币+2): 谢谢参与
已获得2个金币 发自小木虫IOS客户端
小新心啊7楼
2018-07-11 17:27   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
李小罗4楼
2018-07-11 17:24   回复  
mjsophia1990(金币+1): 谢谢参与
已获得1个金币 发自小木虫Android客户端
upc_jinhui10楼
2018-07-11 17:30   回复  
mjsophia1990(金币+3): 谢谢参与
已获得3个金币 发自小木虫Android客户端
查看全部 24 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 299求调剂 +6 △小透明* 2026-03-17 6/300 2026-03-21 02:42 by JourneyLucky
[考研] 化学求调剂 +4 临泽境llllll 2026-03-17 5/250 2026-03-21 02:23 by JourneyLucky
[考研] 南京大学化学376求调剂 +3 hisfailed 2026-03-19 6/300 2026-03-20 23:43 by hisfailed
[考研] 294求调剂材料与化工专硕 +15 陌の森林 2026-03-18 15/750 2026-03-20 23:28 by JourneyLucky
[考研] 一志愿武理材料工程348求调剂 +3 ￣^￣゜汗 2026-03-19 4/200 2026-03-20 21:01 by zhukairuo
[考研] 材料学求调剂 +4 Stella_Yao 2026-03-20 4/200 2026-03-20 20:28 by ms629
[考研] 一志愿 南京航空航天大学大学 ，080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-20 5/250 2026-03-20 20:16 by JourneyLucky
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +7 困于星晨 2026-03-17 9/450 2026-03-20 17:38 by 无懈可击111
[考研] 08工学调剂 +5 用户573181 2026-03-20 5/250 2026-03-20 15:47 by xia_2003
[考研] 298-一志愿中国农业大学-求调剂 +9 手机用户 2026-03-17 9/450 2026-03-20 14:24 by 无懈可击111
[考博] 招收博士1-2人 +3 QGZDSYS 2026-03-18 3/150 2026-03-20 11:58 by 呱呱呱呱叫
[考研] 材料学硕318求调剂 +5 February_Feb 2026-03-19 5/250 2026-03-19 23:51 by 23Postgrad
[考研] 0703化学调剂 +10 妮妮ninicgb 2026-03-15 14/700 2026-03-19 22:59 by 学员8dgXkO
[考研] 生物学调剂招人！！！ +3 山海天岚 2026-03-17 4/200 2026-03-19 21:34 by 怎么释怀
[考研] 本科郑州大学物理学院，一志愿华科070200学硕，346求调剂 +4 我不是一根葱 2026-03-18 4/200 2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考研] 312求调剂 +8 陌宸希 2026-03-16 9/450 2026-03-18 12:39 by Linda Hu
[考研] 材料专硕326求调剂 +6 墨煜姒莘 2026-03-15 7/350 2026-03-17 17:10 by ruiyingmiao
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-14 3/150 2026-03-16 16:39 by houyaoxu
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭