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减小磁控溅射铜膜膜应力
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请教各位大神,除了热处理以外,怎么减小磁控溅射法制备的铜膜的膜应力。不胜感激~ 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2018-06-30 16:12:10
3楼2018-06-30 16:49:10
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4楼2018-06-30 17:09:00














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