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减小磁控溅射铜膜膜应力
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请教各位大神，除了热处理以外，怎么减小磁控溅射法制备的铜膜的膜应力。不胜感激～ 发自小木虫IOS客户端 |
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4楼2018-06-30 17:09:00
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