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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 减小磁控溅射铜膜膜应力
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愿执念夏初

新虫 (初入文坛)

[求助] 减小磁控溅射铜膜膜应力

请教各位大神，除了热处理以外，怎么减小磁控溅射法制备的铜膜的膜应力。不胜感激～

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1楼 2018-06-30 09:28:45
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13823359210

新虫 (小有名气)
铜膜应力？发生了什么变化，确定是应力造成的吗？

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2楼2018-06-30 16:12:10
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愿执念夏初

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 13823359210 at 2018-06-30 16:12:10
铜膜应力？发生了什么变化，确定是应力造成的吗？

铜膜比较厚，2微米左右，成膜后基板边缘会有翘起，应该是应力导致的。

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3楼2018-06-30 16:49:10
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13823359210

新虫 (小有名气)
2微米铜膜不会的

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4楼2018-06-30 17:09:00
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愿执念夏初

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 13823359210 at 2018-06-30 17:09:00
2微米铜膜不会的

成膜后的确会翘起来的

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5楼2018-06-30 17:11:45
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13823359210

新虫 (小有名气)
基板是？

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6楼2018-06-30 17:20:43
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愿执念夏初

新虫 (初入文坛)
玻璃基板

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7楼2018-06-30 17:46:07
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13823359210

新虫 (小有名气)
不会的，有别的因素

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8楼2018-07-02 20:37:53
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13823359210

新虫 (小有名气)
你们这个产品是研发还是生产

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9楼2018-07-02 20:40:00
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愿执念夏初

新虫 (初入文坛)
生产，请问有什么建议吗

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10楼2018-07-05 16:29:46
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