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汕头大学海洋科学接受调剂
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愿执念夏初

新虫 (初入文坛)

[求助] 减小磁控溅射铜膜膜应力

请教各位大神,除了热处理以外,怎么减小磁控溅射法制备的铜膜的膜应力。不胜感激~

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13823359210

新虫 (小有名气)

4楼2018-06-30 17:09:00
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13823359210

新虫 (小有名气)

铜膜应力?发生了什么变化,确定是应力造成的吗?

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2楼2018-06-30 16:12:10
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愿执念夏初

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 13823359210 at 2018-06-30 16:12:10
铜膜应力?发生了什么变化,确定是应力造成的吗?

铜膜比较厚,2微米左右,成膜后基板边缘会有翘起,应该是应力导致的。

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3楼2018-06-30 16:49:10
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愿执念夏初

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 13823359210 at 2018-06-30 17:09:00
2微米铜膜不会的

成膜后的确会翘起来的

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5楼2018-06-30 17:11:45
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