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咫尺的思念

铁虫 (小有名气)

[交流] 做过磁控溅射的进来一下

想问一下如果沉积两到三小时金属膜，基底温度会增加到多少（如果预热100℃的话），我的基片比较高，夹具夹不住，想买个高温胶水粘上去，目前看到最高的能承受280℃，请问这个可以用吗

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-06-22 12:12:05
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
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直接用夹具不行吗

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2楼2018-06-22 12:18:17
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hognmeng

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
现在一般金属镀膜的话都采用夹具的，然后UV液体胶的话280℃也是够的。钼铝钼的温度也就100多点

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3楼2018-06-22 12:29:39
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dubaosheng

金虫 (正式写手)
用银胶

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呵呵
4楼2018-06-22 12:30:47
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
温升看功率密度、电源以及腔体设计的，不好说升高多少。最好还是用夹具，长时间高温溅射胶水胶布都会放气的。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
5楼2018-06-22 15:09:44
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gengxin60
6楼2018-06-22 15:38:45
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天行健08

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这个升温多少不好说，要根据自己用的仪器和条件观察出来的。腔体里使用胶水，不怕受到污染？
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MEMS
7楼2018-06-22 16:30:02
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