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咫尺的思念

铁虫 (小有名气)

[交流] 做过磁控溅射的进来一下

想问一下如果沉积两到三小时金属膜,基底温度会增加到多少(如果预热100℃的话),我的基片比较高,夹具夹不住,想买个高温胶水粘上去,目前看到最高的能承受280℃,请问这个可以用吗

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dubaosheng

金虫 (正式写手)

呵呵
4楼2018-06-22 12:30:47
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
直接用夹具不行吗

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2楼2018-06-22 12:18:17
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hognmeng

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
现在一般金属镀膜的话都采用夹具的,然后UV液体胶的话280℃也是够的。钼铝钼的温度也就100多点

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3楼2018-06-22 12:29:39
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野人禾禾

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
温升看功率密度、电源以及腔体设计的,不好说升高多少。最好还是用夹具,长时间高温溅射胶水胶布都会放气的。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
5楼2018-06-22 15:09:44
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