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咫尺的思念

铁虫 (小有名气)

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[交流] 做过磁控溅射的进来一下

想问一下如果沉积两到三小时金属膜，基底温度会增加到多少（如果预热100℃的话），我的基片比较高，夹具夹不住，想买个高温胶水粘上去，目前看到最高的能承受280℃，请问这个可以用吗

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-06-22 12:12:05

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hognmeng

金虫 (正式写手)

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现在一般金属镀膜的话都采用夹具的，然后UV液体胶的话280℃也是够的。钼铝钼的温度也就100多点

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3楼2018-06-22 12:29:39

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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

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直接用夹具不行吗

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2楼2018-06-22 12:18:17

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dubaosheng

金虫 (正式写手)

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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

用银胶

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呵呵

4楼2018-06-22 12:30:47

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

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温升看功率密度、电源以及腔体设计的，不好说升高多少。最好还是用夹具，长时间高温溅射胶水胶布都会放气的。

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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119

5楼2018-06-22 15:09:44

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