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咫尺的思念

铁虫 (小有名气)

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专业: 金属材料

[交流] 做过磁控溅射的进来一下

想问一下如果沉积两到三小时金属膜，基底温度会增加到多少（如果预热100℃的话），我的基片比较高，夹具夹不住，想买个高温胶水粘上去，目前看到最高的能承受280℃，请问这个可以用吗

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-06-22 12:12:05

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天行健08

铜虫 (小有名气)

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这个升温多少不好说，要根据自己用的仪器和条件观察出来的。腔体里使用胶水，不怕受到污染？

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MEMS

7楼2018-06-22 16:30:02

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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

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★
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直接用夹具不行吗

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2楼2018-06-22 12:18:17

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hognmeng

金虫 (正式写手)

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专业: 材料物理化学

★
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现在一般金属镀膜的话都采用夹具的，然后UV液体胶的话280℃也是够的。钼铝钼的温度也就100多点

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3楼2018-06-22 12:29:39

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dubaosheng

金虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

用银胶

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呵呵

4楼2018-06-22 12:30:47

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