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硅纳米阵列
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Dr.xiao
新虫
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请问有没有能制备硅纳米阵列的实验室呢?
不管是CVD还是刻蚀的方法。
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2018-06-04 11:34:57
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091820053
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6楼
2018-06-04 11:44:29
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Dr.xiao
新虫
(初入文坛)
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(幼儿园)
金币: 2.8
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虫号: 4720972
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6楼
:
Originally posted by
091820053
at 2018-06-04 11:44:29
你好,我们这里可以做的硅刻蚀
请问是哪个研究所呢?谢谢
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7楼
2018-06-04 12:38:27
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091820053
禁虫
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8楼
2018-06-04 13:58:11
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yswyx
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这要看你所谓纳米阵列的尺寸要求。
如果是有周期要求的,采用光刻技术做,要看周期大小和面积。0.6um以上周期的用stepper,以下的用电子束,都挺贵的。
如果是没有周期要求的,可以用硅纳米森林,便宜很多。
把技术要求发到研材微纳的技术邮箱,就可以了。像这种需求还是很常见的。
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9楼
2018-06-06 16:15:22
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hdchina2010
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2018-06-04 11:36
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pandongzi
3楼
2018-06-04 11:35
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1193120030
2楼
2018-06-04 11:35
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hp3600
5楼
2018-06-04 11:36
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