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Dr.xiao

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请问有没有能制备硅纳米阵列的实验室呢？
不管是CVD还是刻蚀的方法。

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1楼 2018-06-04 11:34:57

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091820053

禁虫 (知名作家)

★
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6楼2018-06-04 11:44:29

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Dr.xiao

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6楼: Originally posted by 091820053 at 2018-06-04 11:44:29
你好，我们这里可以做的硅刻蚀

请问是哪个研究所呢？谢谢

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7楼2018-06-04 12:38:27

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091820053

禁虫 (知名作家)

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8楼2018-06-04 13:58:11

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yswyx

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这要看你所谓纳米阵列的尺寸要求。
如果是有周期要求的，采用光刻技术做，要看周期大小和面积。0.6um以上周期的用stepper，以下的用电子束，都挺贵的。
如果是没有周期要求的，可以用硅纳米森林，便宜很多。
把技术要求发到研材微纳的技术邮箱，就可以了。像这种需求还是很常见的。

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9楼2018-06-06 16:15:22

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Dr.xiao

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8楼: Originally posted by 091820053 at 2018-06-04 13:58:11
是公司里面...

有没有微信，可以私聊

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10楼2018-06-07 23:47:49

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wubaolin1995

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您好，请问您找到合适的硅薄膜刻蚀地方了吗？我也想找一个可以刻蚀，可以麻烦您分享一下经验吗？万分感谢

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11楼2020-07-02 03:52:36

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babyoflion

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11楼: Originally posted by wubaolin1995 at 2020-07-02 03:52:36
您好，请问您找到合适的硅薄膜刻蚀地方了吗？我也想找一个可以刻蚀，可以麻烦您分享一下经验吗？万分感谢

我这可以哦

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12楼2020-07-09 21:38:29

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11931200302楼

2018-06-04 11:35 回复

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pandongzi3楼

2018-06-04 11:35 回复

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hdchina20104楼

2018-06-04 11:36 回复

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hp36005楼

2018-06-04 11:36 回复

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