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请问有没有能制备硅纳米阵列的实验室呢？
不管是CVD还是刻蚀的方法。

发自小木虫IOS客户端

1楼2018-06-04 11:34:57

专家顾问 (著名写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

这要看你所谓纳米阵列的尺寸要求。
如果是有周期要求的，采用光刻技术做，要看周期大小和面积。0.6um以上周期的用stepper，以下的用电子束，都挺贵的。
如果是没有周期要求的，可以用硅纳米森林，便宜很多。
把技术要求发到研材微纳的技术邮箱，就可以了。像这种需求还是很常见的。

9楼2018-06-06 16:15:22

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