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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅纳米阵列
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Dr.xiao

新虫 (初入文坛)
已领完
硅纳米阵列
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请问有没有能制备硅纳米阵列的实验室呢？
不管是CVD还是刻蚀的方法。

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1楼2018-06-04 11:34:57
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这要看你所谓纳米阵列的尺寸要求。
如果是有周期要求的，采用光刻技术做，要看周期大小和面积。0.6um以上周期的用stepper，以下的用电子束，都挺贵的。
如果是没有周期要求的，可以用硅纳米森林，便宜很多。
把技术要求发到研材微纳的技术邮箱，就可以了。像这种需求还是很常见的。
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9楼2018-06-06 16:15:22
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091820053

禁虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
6楼2018-06-04 11:44:29
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Dr.xiao

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 091820053 at 2018-06-04 11:44:29
你好，我们这里可以做的硅刻蚀

请问是哪个研究所呢？谢谢

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7楼2018-06-04 12:38:27
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
8楼2018-06-04 13:58:11
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hdchina20104楼
2018-06-04 11:36   回复  
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pandongzi3楼
2018-06-04 11:35   回复  
Dr.xiao(金币+2): 谢谢参与
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11931200302楼
2018-06-04 11:35   回复  
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hp36005楼
2018-06-04 11:36   回复  
Dr.xiao(金币+1): 谢谢参与
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