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lu06024150木虫 (小有名气)
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如何提高紫铜的电弧沉积速率已有1人参与
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| 各位大神,之前采用直流或中频磁控溅射紫铜,为提高沉积速率,现采用电弧沉积,辉光较弱,沉积速率较慢(查资料说由于紫铜密度较大需要强磁场),除了加强磁场外还有什么能提高沉积速度的方法,谢谢! |
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磁控溅射镀膜工艺 |
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2楼2018-05-25 09:50:57
lu06024150
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3楼2018-05-25 11:28:06

4楼2018-05-25 13:56:33
lu06024150
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5楼2018-05-25 14:35:37
李小华
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