应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 如何提高紫铜的电弧沉积速率
51/1返回列表
查看: 923  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

lu06024150

木虫 (小有名气)

[求助] 如何提高紫铜的电弧沉积速率 已有1人参与

各位大神，之前采用直流或中频磁控溅射紫铜，为提高沉积速率，现采用电弧沉积，辉光较弱，沉积速率较慢（查资料说由于紫铜密度较大需要强磁场），除了加强磁场外还有什么能提高沉积速度的方法，谢谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-05-24 15:00:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by lu06024150 at 2018-05-25 04:28:06
功率提高了效果基本没有，靶基距牵扯到设备硬件了改不了，降低气压是什么意思，目前工艺压力0.35Pa左右，需要降到很低吗？谢谢...

功率提高效果没有，说明你的阴极问题很大。其他措施我也想不到了，气压0.35pa可以。
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2018-05-25 13:56:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
额，紫铜不就是单质铜么，不存在所谓的密度大沉积速率慢的问题。
关键你所需要的沉积速率是多少？铜的沉积速率是很快的。
辉光弱，说明磁场弱。如果不改磁场，你可以提高功率，降低气压，缩短靶基距。
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2018-05-25 09:50:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lu06024150

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-05-25 09:50:57
额，紫铜不就是单质铜么，不存在所谓的密度大沉积速率慢的问题。
关键你所需要的沉积速率是多少？铜的沉积速率是很快的。
辉光弱，说明磁场弱。如果不改磁场，你可以提高功率，降低气压，缩短靶基距。

功率提高了效果基本没有，靶基距牵扯到设备硬件了改不了，降低气压是什么意思，目前工艺压力0.35Pa左右，需要降到很低吗？谢谢
赞一下 回复此楼
3楼2018-05-25 11:28:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lu06024150

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-05-25 13:56:33
功率提高效果没有，说明你的阴极问题很大。其他措施我也想不到了，气压0.35pa可以。...

好的，谢谢了
回复此楼
5楼2018-05-25 14:35:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭