| 查看: 3155 | 回复: 15 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
LAnza_lw银虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射镀膜膜厚测量方法讨论 已有1人参与
|
|
目前主要从事中频反应溅射，需要在2D或3D面（光滑/粗糙）上镀装饰膜；测量膜厚的方法主要是：球磨>金相显微镜测截面>SEM,膜厚分布1~4μm；球磨法较快，但是测量误差很大（0~0.5μm）；金相镜须制样且同样受测试员操作影响，而且研磨面令人发指；SEM耗时长（24H有报告），也苦于表面制备垃圾、成本。请问有没有其他可以精准测量膜厚(误差不超过0.1μm)，用时短（<3h）的方法呢？晶振片适用于磁控溅射吗？请指教，谢谢 |
回复此楼
LAnza_lw
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 294.1
- 散金: 100
- 帖子: 225
- 在线: 40.7小时
- 虫号: 4467576
- 注册: 2016-03-04
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
9楼2018-05-22 08:05:08
强哥哥哥
新虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 5863.8
- 散金: 25
- 红花: 19
- 帖子: 2375
- 在线: 136.3小时
- 虫号: 4127252
- 注册: 2015-10-08
- 性别: GG
- 专业: 半导体科学与信息器件
2楼2018-05-21 18:41:10
wiseroy
木虫 (著名写手)
更多共享-更多交流-更多进步
- 应助: 54 (初中生)
- 金币: 3129.4
- 散金: 1114
- 红花: 9
- 帖子: 1014
- 在线: 225.8小时
- 虫号: 1169386
- 注册: 2010-12-14
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
3楼2018-05-21 18:50:08
jackyang1995
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1265.9
- 散金: 26
- 红花: 2
- 沙发: 2
- 帖子: 888
- 在线: 188.1小时
- 虫号: 5628690
- 注册: 2017-02-18
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性I:结构、力学和
4楼2018-05-21 19:15:19
30