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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 性能应用 » 磁控溅射镀膜膜厚测量方法讨论
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LAnza_lw

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射镀膜膜厚测量方法讨论已有1人参与

目前主要从事中频反应溅射，需要在2D或3D面（光滑/粗糙）上镀装饰膜；测量膜厚的方法主要是：球磨>金相显微镜测截面>SEM,膜厚分布1~4μm；球磨法较快，但是测量误差很大（0~0.5μm）；金相镜须制样且同样受测试员操作影响，而且研磨面令人发指；SEM耗时长（24H有报告），也苦于表面制备垃圾、成本。请问有没有其他可以精准测量膜厚(误差不超过0.1μm)，用时短（<3h）的方法呢？晶振片适用于磁控溅射吗？请指教，谢谢
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磁控溅射镀膜工艺

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PVD，磁控溅射，金属镀膜，研发工程师
1楼2018-05-21 18:27:28
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fpei_csu

银虫 (小有名气)
可以用XRY荧光射线无损测厚仪，方便又无需破坏样品

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13楼2018-05-22 12:42:35
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王龙权

木虫 (著名写手)
基体一半用铝箔或锡纸遮住 用AFM测量 第二种可以试试硅片上磁控溅射 然后用镊子掰断 高倍扫描电镜观察断面 也可测量

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15楼2018-05-24 22:20:12
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普通回帖

强哥哥哥

新虫 (著名写手)
台阶仪

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2楼2018-05-21 18:41:10
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
台阶仪，afm

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善良
3楼2018-05-21 18:50:08
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jackyang1995

新虫 (正式写手)
磁控溅射一般用时间控制啊

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4楼2018-05-21 19:15:19
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jackyang1995

新虫 (正式写手)
计算功率时间转速比

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5楼2018-05-21 19:15:39
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yanfang2741

禁虫 (文坛精英)
本帖内容被屏蔽
6楼2018-05-21 21:38:46
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LAnza_lw

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2018-05-21 18:41:10
台阶仪

你们的台阶仪什么价位？
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PVD，磁控溅射，金属镀膜，研发工程师
7楼2018-05-22 08:03:58
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LAnza_lw

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wiseroy at 2018-05-21 18:50:08
台阶仪，afm

你们的台阶仪什么价位？AFM不是很贵吗
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PVD，磁控溅射，金属镀膜，研发工程师
8楼2018-05-22 08:04:34
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LAnza_lw

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by jackyang1995 at 2018-05-21 19:15:19
磁控溅射一般用时间控制啊

老铁没毛病
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PVD，磁控溅射，金属镀膜，研发工程师
9楼2018-05-22 08:05:08
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LAnza_lw

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by jackyang1995 at 2018-05-21 19:15:39
计算功率时间转速比

不是很清楚，能详细点吗？
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PVD，磁控溅射，金属镀膜，研发工程师
10楼2018-05-22 08:05:50
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