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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by LAnza_lw at 2018-05-22 08:03:58
你们的台阶仪什么价位?

几十万吧

发自小木虫Android客户端
11楼2018-05-22 09:02:26
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
LAnza_lw: 金币+10, 有帮助 2018-05-31 09:10:52
台阶仪,dektek大约30来万一台
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
12楼2018-05-22 10:41:26
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fpei_csu

银虫 (小有名气)

可以用XRY荧光射线无损测厚仪,方便又无需破坏样品

发自小木虫Android客户端
13楼2018-05-22 12:42:35
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

别这么死板,我看你需要的膜厚精度也不高,台阶仪精确度可以达到1nm以下。

1. 你可以通过设定标准参比工艺,进行沉积,然后委外台阶仪测试,算出沉积速率。(常规工艺的功率和膜厚成正比)
2. 你也可以添加专门用于测膜厚的片子,而不是目前的基材,两者沉积的膜厚基本差别很小。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
14楼2018-05-22 18:06:13
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王龙权

木虫 (著名写手)

基体一半用铝箔或锡纸遮住 用AFM测量 第二种可以试试硅片上磁控溅射 然后用镊子掰断 高倍扫描电镜观察断面 也可测量

发自小木虫Android客户端
15楼2018-05-24 22:20:12
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今夕何夕。

铁虫 (初入文坛)

台阶仪,光学轮廓仪,AFM都可以
16楼2019-03-15 21:44:35
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