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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 性能应用 » 磁控溅射镀膜膜厚测量方法讨论
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by LAnza_lw at 2018-05-22 08:03:58
你们的台阶仪什么价位？

几十万吧

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11楼2018-05-22 09:02:26
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
LAnza_lw: 金币+10, ★有帮助 2018-05-31 09:10:52
台阶仪，dektek大约30来万一台
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
12楼2018-05-22 10:41:26
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fpei_csu

银虫 (小有名气)
可以用XRY荧光射线无损测厚仪，方便又无需破坏样品

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13楼2018-05-22 12:42:35
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
别这么死板，我看你需要的膜厚精度也不高，台阶仪精确度可以达到1nm以下。

1. 你可以通过设定标准参比工艺，进行沉积，然后委外台阶仪测试，算出沉积速率。（常规工艺的功率和膜厚成正比）
2. 你也可以添加专门用于测膜厚的片子，而不是目前的基材，两者沉积的膜厚基本差别很小。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
14楼2018-05-22 18:06:13
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王龙权

木虫 (著名写手)
基体一半用铝箔或锡纸遮住 用AFM测量 第二种可以试试硅片上磁控溅射 然后用镊子掰断 高倍扫描电镜观察断面 也可测量

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15楼2018-05-24 22:20:12
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今夕何夕。

铁虫 (初入文坛)
台阶仪，光学轮廓仪，AFM都可以
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16楼2019-03-15 21:44:35
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