应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 反应磁控溅射镀氧化钒薄膜启辉后瞬间熄辉
101/1返回列表
查看: 1901  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)

[求助] 反应磁控溅射镀氧化钒薄膜启辉后瞬间熄辉 已有1人参与

设备型号为sd550成都的，气压正常，射频电源电压正常，电流极小，射频匹配器自偏压无示数，改用直流启辉正常，请问是哪里出了问题，该如何维修。
求大佬啊

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射镀膜工艺

» 猜你喜欢
1楼 2018-05-07 18:31:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)
本帖仅楼主可见
赞一下
2楼2018-05-08 08:52:55
已阅   申请FPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

m452193160

新虫 (小有名气)
射频最好别用国产的

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2018-05-08 10:08:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gt134032 at 2018-05-08 08:52:55
请问单靶还是多靶的仪器？有没有尝试调高气压？

做的事单靶，气压试过调高，能启辉，但是辉光非常弱，自偏压任然极小

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2018-05-08 16:54:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by m452193160 at 2018-05-08 10:08:28
射频最好别用国产的

接受

发自小木虫Android客户端
回复此楼
5楼2018-05-08 16:55:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)
本帖仅楼主可见
赞一下
6楼2018-05-08 17:45:06
已阅   申请FPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by gt134032 at 2018-05-08 17:45:06
我曾经遇到过类似的情况，溅射金属钼，开始用0.2pa,辉光很弱，电流小电压大，后将气压调至1.0pa,辉光正常。此外我们的仪器有四个靶位，我发现使用不同靶位用相同气压时，不同位置可能也会有不同。不知道对你有没有 ...

我所使用的设备磁性也有差异，我能启辉是在非常高的氩气流量下，接近400sccm且辉光很暗,降低气压后辉光俞暗。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
7楼2018-05-08 21:12:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天行健08

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 糊涂蛋2018 at 2018-05-08 21:12:21
我所使用的设备磁性也有差异，我能启辉是在非常高的氩气流量下，接近400sccm且辉光很暗,降低气压后辉光俞暗。
...

会不会是靶材或阳极罩之类的杂质太多短路了？
赞一下 回复此楼
MEMS
8楼2018-05-11 16:48:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 天行健08 at 2018-05-11 16:48:43
会不会是靶材或阳极罩之类的杂质太多短路了？...

不会  我每次溅射都取下来打磨了的，我换了个新的靶材，然后把腔体也打磨了，也不知道为啥就能启辉了，自偏压也正常了……

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2018-05-12 00:01:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
糊涂蛋2018: 金币+5, ★★★很有帮助 2018-05-14 23:42:17
国产射频基本不可用，找匹配点不准而且反射功率很高很危险，可以的话试试AE cesar。
射频调节很关键的是找到合适的匹配点，这个匹配点一个有赖于腔体设计，一个有赖于工艺参数。
一个启辉困难可能你腔体设计的阻抗已经超过了匹配箱的可调节范围，另一个需要合理的工艺参数，气压高一点比如1pa...
但最关键的还是射频设备的好坏。
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
10楼2018-05-14 09:51:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 糊涂蛋2018 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 0XLacIJUOj8D 2026-08-24 7/350 2026-08-25 03:24 by BZKMTicpDhFj
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 0XLacIJUOj8D 2026-08-24 3/150 2026-08-25 01:47 by BZKMTicpDhFj
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑，不妨来听听这首《基金之外》 +7 scalable 2026-08-24 7/350 2026-08-24 23:01 by anata1209
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +7 图啦图啦 2026-08-24 8/400 2026-08-24 22:00 by maomao_da
[基金申请] 人气不行了 +10 fansofjerry 2026-08-21 10/500 2026-08-24 21:03 by zhanghaozhu
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +21 koalala 2026-08-24 24/1200 2026-08-24 19:25 by 家与远方
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[基金申请] 今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +17 医学老男孩 2026-08-20 21/1050 2026-08-24 14:21 by refreshing11
[基金申请] 估计是周四 +4 archvillain 2026-08-18 4/200 2026-08-24 13:53 by zzuzxg
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[基金申请] 放榜前的不淡定 20+4 snowwithsea 2026-08-19 17/850 2026-08-24 10:20 by echo8914667
[基金申请] 科研孤儿太难了 +18 我4大白菜 2026-08-20 19/950 2026-08-24 09:47 by 凯恩广盛催化分�
[基金申请] 什么时候开奖？ +10 CrisMessi 2026-08-18 11/550 2026-08-24 06:50 by 开心的小狮子
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭