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糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)

[求助] 反应磁控溅射镀氧化钒薄膜启辉后瞬间熄辉 已有1人参与

设备型号为sd550成都的,气压正常,射频电源电压正常,电流极小,射频匹配器自偏压无示数,改用直流启辉正常,请问是哪里出了问题,该如何维修。
求大佬啊

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磁控溅射镀膜工艺

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糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by gt134032 at 2018-05-08 17:45:06
我曾经遇到过类似的情况,溅射金属钼,开始用0.2pa,辉光很弱,电流小电压大,后将气压调至1.0pa,辉光正常。此外我们的仪器有四个靶位,我发现使用不同靶位用相同气压时,不同位置可能也会有不同。不知道对你有没有 ...

我所使用的设备磁性也有差异,我能启辉是在非常高的氩气流量下,接近400sccm且辉光很暗,降低气压后辉光俞暗。

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7楼2018-05-08 21:12:21
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匿名

用户注销 (正式写手)

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2楼2018-05-08 08:52:55
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m452193160

新虫 (小有名气)

3楼2018-05-08 10:08:28
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糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gt134032 at 2018-05-08 08:52:55
请问单靶还是多靶的仪器?有没有尝试调高气压?

做的事单靶,气压试过调高,能启辉,但是辉光非常弱,自偏压任然极小

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4楼2018-05-08 16:54:37
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