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反应磁控溅射镀氧化钒薄膜启辉后瞬间熄辉 已有1人参与
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设备型号为sd550成都的，气压正常，射频电源电压正常，电流极小，射频匹配器自偏压无示数，改用直流启辉正常，请问是哪里出了问题，该如何维修。 求大佬啊 发自小木虫Android客户端 |
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 磁控溅射镀膜工艺 |
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