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糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 44.6
帖子: 14
在线: 6分钟
虫号: 8688868
注册: 2018-05-07
专业: 金属功能材料

[求助] 反应磁控溅射镀氧化钒薄膜启辉后瞬间熄辉已有1人参与

设备型号为sd550成都的，气压正常，射频电源电压正常，电流极小，射频匹配器自偏压无示数，改用直流启辉正常，请问是哪里出了问题，该如何维修。
求大佬啊

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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2018-05-07 18:31:36

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)

应助: 62 (初中生)
金币: 1285
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虫号: 1370716
注册: 2011-08-17
性别: GG
专业: 其他无机非金属材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
糊涂蛋2018: 金币+5, ★★★很有帮助 2018-05-14 23:42:17

国产射频基本不可用，找匹配点不准而且反射功率很高很危险，可以的话试试AE cesar。
射频调节很关键的是找到合适的匹配点，这个匹配点一个有赖于腔体设计，一个有赖于工艺参数。
一个启辉困难可能你腔体设计的阻抗已经超过了匹配箱的可调节范围，另一个需要合理的工艺参数，气压高一点比如1pa...
但最关键的还是射频设备的好坏。