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糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)

[求助] 反应磁控溅射镀氧化钒薄膜启辉后瞬间熄辉 已有1人参与

设备型号为sd550成都的,气压正常,射频电源电压正常,电流极小,射频匹配器自偏压无示数,改用直流启辉正常,请问是哪里出了问题,该如何维修。
求大佬啊

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磁控溅射镀膜工艺

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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
糊涂蛋2018: 金币+5, ★★★很有帮助 2018-05-14 23:42:17
国产射频基本不可用,找匹配点不准而且反射功率很高很危险,可以的话试试AE cesar。
射频调节很关键的是找到合适的匹配点,这个匹配点一个有赖于腔体设计,一个有赖于工艺参数。
一个启辉困难可能你腔体设计的阻抗已经超过了匹配箱的可调节范围,另一个需要合理的工艺参数,气压高一点比如1pa...
但最关键的还是射频设备的好坏。
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
10楼2018-05-14 09:51:26
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匿名

用户注销 (正式写手)

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2楼2018-05-08 08:52:55
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m452193160

新虫 (小有名气)

3楼2018-05-08 10:08:28
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糊涂蛋2018

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gt134032 at 2018-05-08 08:52:55
请问单靶还是多靶的仪器?有没有尝试调高气压?

做的事单靶,气压试过调高,能启辉,但是辉光非常弱,自偏压任然极小

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4楼2018-05-08 16:54:37
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