24小时热门版块排行榜    

查看: 515  |  回复: 9
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

碧海蓝天5087

[交流] 【讨论】磁控溅射的问题

磁控溅射的时候在腔室通常同两种气体:Ar和He,其中He是用来干什么的?它的浓度多少对实验有什么影响?高手赐教,谢谢!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by whzg at 2009-3-18 19:03:
控制工艺参数做过纳米颗粒薄膜,微米颗粒薄膜

我这个都是5nm左右的,就是分散性不是很好,也调过一些参数,不知道怎么办好了!
10楼2009-03-19 15:21:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

whzg

木虫 (知名作家)

★ ★
bio-polymer(金币+2,VIP+0):积极回复 3-18 12:39
惰性气体(如Ar或He)通常被电离,在电场中加速获得能量并向阴极靶材运动轰击靶材,将靶材原子溅射出来,溅射出来的靶材原子沿一定方向运动并沉积到衬底表面形成薄膜。它们作用影响,只不过对靶材表面的溅射效果(溅射产额)有些不同。由于Ar相对价格便宜,用得最多。

[ Last edited by whzg on 2009-3-18 at 12:12 ]
2楼2009-03-18 12:10:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by whzg at 2009-3-18 12:10:
惰性气体(如Ar或He)通常被电离,在电场中加速获得能量并向阴极靶材运动轰击靶材,将靶材原子溅射出来,溅射出来的靶材原子沿一定方向运动并沉积到衬底表面形成薄膜。它们作用影响,只不过对靶材表面的溅射效果( ...

这样啊,我还以为He有别的作用呢!那用磁控溅射的方法制备纳米粒子的话,粒子的分散性该如何控制?谢谢!
3楼2009-03-18 12:16:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whzg

木虫 (知名作家)

用磁控溅射可以做纳米材料,这方面的文献应该可以查到,我主要做磁控溅射沉积薄膜的。所以你看看这方面文献或相关的专业书,在摸索一下工艺自己应该可以搞定。

[ Last edited by whzg on 2009-3-18 at 12:22 ]
4楼2009-03-18 12:19:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +5 医学老男孩 2026-08-13 11/550 2026-08-13 15:41 by sdfapple719
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +3 启萌科技 2026-08-12 6/300 2026-08-13 15:34 by 高飞的梦想
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] FileCode能看出啥? +8 要乐观耀哥 2026-08-10 26/1300 2026-08-13 12:01 by Tide man
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +9 majunge000 2026-08-10 11/550 2026-08-13 10:40 by ZH远山
[基金申请] 好奇怪的filecode +5 布布和一二 2026-08-08 6/300 2026-08-12 16:11 by 云上清扬
[基金申请] filecode +13 documentary 2026-08-10 15/750 2026-08-12 15:56 by 云上清扬
[论文投稿] 职称评审,求友友推荐见刊最快的期刊 +4 工厂打螺丝 2026-08-08 4/200 2026-08-12 09:18 by hansi2025
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +7 布布和一二 2026-08-10 10/500 2026-08-12 09:12 by 布布和一二
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变,有变的大神么? +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
信息提示
请填处理意见