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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【讨论】磁控溅射的问题
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碧海蓝天5087

[交流] 【讨论】磁控溅射的问题

磁控溅射的时候在腔室通常同两种气体：Ar和He，其中He是用来干什么的？它的浓度多少对实验有什么影响？高手赐教，谢谢！
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1楼 2009-03-18 11:56:07
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by whzg at 2009-3-18 19:03:
控制工艺参数做过纳米颗粒薄膜，微米颗粒薄膜

我这个都是5nm左右的，就是分散性不是很好，也调过一些参数，不知道怎么办好了！
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10楼2009-03-19 15:21:08
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whzg

木虫 (知名作家)
★ ★
bio-polymer(金币+2,VIP+0):积极回复 3-18 12:39
惰性气体（如Ar或He）通常被电离，在电场中加速获得能量并向阴极靶材运动轰击靶材，将靶材原子溅射出来，溅射出来的靶材原子沿一定方向运动并沉积到衬底表面形成薄膜。它们作用影响，只不过对靶材表面的溅射效果（溅射产额）有些不同。由于Ar相对价格便宜，用得最多。

[ Last edited by whzg on 2009-3-18 at 12:12 ]
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2楼2009-03-18 12:10:36
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by whzg at 2009-3-18 12:10:
惰性气体（如Ar或He）通常被电离，在电场中加速获得能量并向阴极靶材运动轰击靶材，将靶材原子溅射出来，溅射出来的靶材原子沿一定方向运动并沉积到衬底表面形成薄膜。它们作用影响，只不过对靶材表面的溅射效果（ ...

这样啊，我还以为He有别的作用呢！那用磁控溅射的方法制备纳米粒子的话，粒子的分散性该如何控制？谢谢！
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3楼2009-03-18 12:16:20
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whzg

木虫 (知名作家)
用磁控溅射可以做纳米材料，这方面的文献应该可以查到，我主要做磁控溅射沉积薄膜的。所以你看看这方面文献或相关的专业书，在摸索一下工艺自己应该可以搞定。

[ Last edited by whzg on 2009-3-18 at 12:22 ]
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4楼2009-03-18 12:19:32
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