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【讨论】磁控溅射的问题
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| 磁控溅射的时候在腔室通常同两种气体：Ar和He，其中He是用来干什么的？它的浓度多少对实验有什么影响？高手赐教，谢谢！ |
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whzg
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2楼2009-03-18 12:10:36
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