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碧海蓝天5087

[交流] 【讨论】磁控溅射的问题

磁控溅射的时候在腔室通常同两种气体:Ar和He,其中He是用来干什么的?它的浓度多少对实验有什么影响?高手赐教,谢谢!
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whzg

木虫 (知名作家)

用磁控溅射可以做纳米材料,这方面的文献应该可以查到,我主要做磁控溅射沉积薄膜的。所以你看看这方面文献或相关的专业书,在摸索一下工艺自己应该可以搞定。

[ Last edited by whzg on 2009-3-18 at 12:22 ]
4楼2009-03-18 12:19:32
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whzg

木虫 (知名作家)

★ ★
bio-polymer(金币+2,VIP+0):积极回复 3-18 12:39
惰性气体(如Ar或He)通常被电离,在电场中加速获得能量并向阴极靶材运动轰击靶材,将靶材原子溅射出来,溅射出来的靶材原子沿一定方向运动并沉积到衬底表面形成薄膜。它们作用影响,只不过对靶材表面的溅射效果(溅射产额)有些不同。由于Ar相对价格便宜,用得最多。

[ Last edited by whzg on 2009-3-18 at 12:12 ]
2楼2009-03-18 12:10:36
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by whzg at 2009-3-18 12:10:
惰性气体(如Ar或He)通常被电离,在电场中加速获得能量并向阴极靶材运动轰击靶材,将靶材原子溅射出来,溅射出来的靶材原子沿一定方向运动并沉积到衬底表面形成薄膜。它们作用影响,只不过对靶材表面的溅射效果( ...

这样啊,我还以为He有别的作用呢!那用磁控溅射的方法制备纳米粒子的话,粒子的分散性该如何控制?谢谢!
3楼2009-03-18 12:16:20
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碧海蓝天5087

引用回帖:
Originally posted by whzg at 2009-3-18 12:19:
用磁控溅射可以做纳米材料,这方面的文献应该可以查到,我主要做磁控溅射沉积薄膜的。所以你看看这方面文献或相关的专业书,在摸索一下工艺自己应该可以搞定。

[ Last edited by whzg on 2009-3-18 at 12:22  ...

能否留个Q?我向你请教请教!
5楼2009-03-18 12:23:54
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