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SU8显影后需要用水冲洗吗？
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请问SU8显影后需要用水冲洗吗？ SU8厚度500nm，我按照说明书的步骤，显影后先用IPA冲洗，再用水冲洗，之后hard bake，感觉在冲洗过程中SU8会脱落啊，这是为什么？如果显影之后不冲洗，直接hard bake可以吗？ 谢谢了！ |
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youngen6楼
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