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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8显影后需要用水冲洗吗？
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tenegg

铜虫 (小有名气)

[交流] SU8显影后需要用水冲洗吗？

请问SU8显影后需要用水冲洗吗？
SU8厚度500nm，我按照说明书的步骤，显影后先用IPA冲洗，再用水冲洗，之后hard bake，感觉在冲洗过程中SU8会脱落啊，这是为什么？如果显影之后不冲洗，直接hard bake可以吗？
谢谢了！
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1楼 2018-04-02 13:49:33
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凉天1209

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by tenegg at 2018-04-03 08:55:41
求助啊，有人知道吗？

不能用水冲洗，可以用异丙醇
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9楼2018-08-28 18:55:53
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gelivable

新虫 (小有名气)
★
tenegg(金币+1): 谢谢参与
结合力不好吧，没用过su8。 帮顶一下

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2018-04-02 16:06:12
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tenegg

铜虫 (小有名气)
求助啊，有人知道吗？
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7楼2018-04-03 08:55:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
理论上不需要水冲洗，但是如果你过水冲洗就会脱落的话，那绝对是黏附力不够，而且你的SU8这么薄，按理说不会有应力大的问题。
你如果是在研材微纳买的SU8，会有技术支持直接告诉你如果处理这种情况。
对于你的这种情况，想提高黏附力，一是要把环境湿度控制在50%以下，二是要在涂胶之前充分把片子烘干，冷却后涂敷。
赞一下(2人) 回复此楼
8楼2018-04-03 12:44:17
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wdxmu4楼
2018-04-02 19:40   回复  
tenegg(金币+1): 谢谢参与
一 发自小木虫IOS客户端
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