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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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tenegg

铜虫 (小有名气)


[交流] SU8显影后需要用水冲洗吗?

请问SU8显影后需要用水冲洗吗?
SU8厚度500nm,我按照说明书的步骤,显影后先用IPA冲洗,再用水冲洗,之后hard bake,感觉在冲洗过程中SU8会脱落啊,这是为什么?如果显影之后不冲洗,直接hard bake可以吗?
谢谢了!
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
理论上不需要水冲洗,但是如果你过水冲洗就会脱落的话,那绝对是黏附力不够,而且你的SU8这么薄,按理说不会有应力大的问题。
你如果是在研材微纳买的SU8,会有技术支持直接告诉你如果处理这种情况。
对于你的这种情况,想提高黏附力,一是要把环境湿度控制在50%以下,二是要在涂胶之前充分把片子烘干,冷却后涂敷。
8楼2018-04-03 12:44:17
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gelivable

新虫 (小有名气)



tenegg(金币+1): 谢谢参与
结合力不好吧,没用过su8。 帮顶一下

发自小木虫Android客户端
2楼2018-04-02 16:06:12
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tenegg

铜虫 (小有名气)


求助啊,有人知道吗?
7楼2018-04-03 08:55:41
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凉天1209

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by tenegg at 2018-04-03 08:55:41
求助啊,有人知道吗?

不能用水冲洗,可以用异丙醇
9楼2018-08-28 18:55:53
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简单回复
wdxmu4楼
2018-04-02 19:40   回复  
tenegg(金币+1): 谢谢参与
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