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tenegg

铜虫 (小有名气)

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[交流] SU8显影后需要用水冲洗吗？

请问SU8显影后需要用水冲洗吗？
SU8厚度500nm，我按照说明书的步骤，显影后先用IPA冲洗，再用水冲洗，之后hard bake，感觉在冲洗过程中SU8会脱落啊，这是为什么？如果显影之后不冲洗，直接hard bake可以吗？
谢谢了！

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1楼 2018-04-02 13:49:33

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yswyx

专家顾问 (著名写手)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

理论上不需要水冲洗，但是如果你过水冲洗就会脱落的话，那绝对是黏附力不够，而且你的SU8这么薄，按理说不会有应力大的问题。
你如果是在研材微纳买的SU8，会有技术支持直接告诉你如果处理这种情况。
对于你的这种情况，想提高黏附力，一是要把环境湿度控制在50%以下，二是要在涂胶之前充分把片子烘干，冷却后涂敷。