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SU8显影后需要用水冲洗吗？
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请问SU8显影后需要用水冲洗吗？ SU8厚度500nm，我按照说明书的步骤，显影后先用IPA冲洗，再用水冲洗，之后hard bake，感觉在冲洗过程中SU8会脱落啊，这是为什么？如果显影之后不冲洗，直接hard bake可以吗？ 谢谢了！ |
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7楼2018-04-03 08:55:41
2楼2018-04-02 16:06:12
yswyx 
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8楼2018-04-03 12:44:17
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wdxmu4楼
2018-04-02 19:40
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tenegg(金币+1): 谢谢参与
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