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040941033金虫 (正式写手)
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[交流]
化学气相沉积技术中的高纯金属掺杂材料（MOCVD）
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| 请教：用于化学气相沉积技术（CVD）和原子层沉积（ALD）中的具有挥发性的高纯金属掺杂材料可以从哪来获得呢？纯度对相关实验结果影响是怎样的呢？请从事这方面研究的牛人指导下，欢迎大家交流，谢谢！ |
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
040941033: 金币+5 2018-03-24 16:02:44
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
040941033: 金币+5 2018-03-24 16:02:44
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金属源一般都是金属有机化合物，对热稳定性和挥发性要求较高。纯度对薄膜的质量有影响。如果有不懂可以相互交流！ 发自小木虫Android客户端 |
5楼2018-03-21 23:09:36