24小时热门版块排行榜    

查看: 1252  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

040941033

金虫 (正式写手)

[交流] 化学气相沉积技术中的高纯金属掺杂材料(MOCVD)

请教:用于化学气相沉积技术(CVD)和原子层沉积(ALD)中的具有挥发性的高纯金属掺杂材料可以从哪来获得呢?纯度对相关实验结果影响是怎样的呢?请从事这方面研究的牛人指导下,欢迎大家交流,谢谢!
回复此楼
Be the change you want to see in the world
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

040941033(金币+1): 谢谢参与
3楼2018-03-17 17:23:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

040941033(金币+1): 谢谢参与
4楼2018-03-17 17:25:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

光棍9527

新虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
040941033: 金币+5 2018-03-24 16:02:44
金属源一般都是金属有机化合物,对热稳定性和挥发性要求较高。纯度对薄膜的质量有影响。如果有不懂可以相互交流!

发自小木虫Android客户端
5楼2018-03-21 23:09:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

040941033

金虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 光棍9527 at 2018-03-21 23:09:36
金属源一般都是金属有机化合物,对热稳定性和挥发性要求较高。纯度对薄膜的质量有影响。如果有不懂可以相互交流!

谢谢回复,所用的金属有机化合物纯度是多少的?99.999%?
Be the change you want to see in the world
6楼2018-03-24 16:04:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见