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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 化学气相沉积技术中的高纯金属掺杂材料（MOCVD）
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040941033

金虫 (正式写手)

[交流] 化学气相沉积技术中的高纯金属掺杂材料（MOCVD）

请教：用于化学气相沉积技术（CVD）和原子层沉积（ALD）中的具有挥发性的高纯金属掺杂材料可以从哪来获得呢？纯度对相关实验结果影响是怎样的呢？请从事这方面研究的牛人指导下，欢迎大家交流，谢谢！
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1楼 2018-03-17 17:15:10
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hongyingwu
★
040941033(金币+1): 谢谢参与
2楼2018-03-17 17:18:30
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you3674251
★
040941033(金币+1): 谢谢参与
666

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3楼2018-03-17 17:23:04
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sunjialin123
★
040941033(金币+1): 谢谢参与
。

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4楼2018-03-17 17:25:32
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光棍9527

新虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
040941033: 金币+5 2018-03-24 16:02:44
金属源一般都是金属有机化合物，对热稳定性和挥发性要求较高。纯度对薄膜的质量有影响。如果有不懂可以相互交流！

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5楼2018-03-21 23:09:36
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040941033

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 光棍9527 at 2018-03-21 23:09:36
金属源一般都是金属有机化合物，对热稳定性和挥发性要求较高。纯度对薄膜的质量有影响。如果有不懂可以相互交流！

谢谢回复，所用的金属有机化合物纯度是多少的？99.999％？
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6楼2018-03-24 16:04:19
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小目蟲

新虫 (初入文坛)
你要生长金属吗

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7楼2019-05-08 09:42:56
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