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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 薄膜的TEM测试颗粒度的大小
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kevin123581

金虫 (正式写手)

[求助] 薄膜的TEM测试颗粒度的大小 已有2人参与

请问我想要用TEM测量沉积的Si薄膜的颗粒度大小 ， 样品应该如何准备才好呢？
听人说薄膜需要直接在铜网上?  还是一般的沉积在基底上也可以？  对薄膜厚度有何要求，样品尺寸大小有何要求？
谢谢大家
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1楼 2018-03-07 13:00:26
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
6楼: Originally posted by kevin123581 at 2018-03-08 09:58:22
影响其他测量，比如我镀膜在铜网上了， 如果粒子无法完全清洗掉，其他人测量其他东西的时候会不会有影响，这个意思
铜网应该不是消耗品吧，比如一个网只能用一次？
主要镀膜很薄，附着得也比较紧，不好处理

谢 ...

一次性的。。十几到几十块钱一个的东西，不是太大事。。不用考虑这些问题，电镜一小时好几百块钱操作费用的，铜网这点钱不算事的

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9楼2018-03-08 19:19:56
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一只鸟儿

新虫 (正式写手)
都可以啊，TEM备样时FIB处理就行啊

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10楼2018-03-08 20:48:02
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ekeyan

捐助贵宾 (知名作家)
我们这里可以测tem，磁性非磁性都可以，如需要站内联系，谢谢

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2楼2018-03-07 13:59:32
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

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如果铜网直接沉积没有影响那最好直接沉积到铜网，如果膜太厚或者铜网会有影响需要用转移或者其他办法处理，厚度越薄越好，高分辨尽量50nm以下
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kevin123581
3楼2018-03-07 15:06:36
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kevin123581

金虫 (正式写手)
送红花一朵
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3楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-03-07 15:06:36
如果铜网直接沉积没有影响那最好直接沉积到铜网，如果膜太厚或者铜网会有影响需要用转移或者其他办法处理，厚度越薄越好，高分辨尽量50nm以下

谢谢。我想问一下的就是如果沉积到了铜网上，是不是会影响其他测量，比如无法把薄膜去掉什么的，会导致其他的测量被影响，所以最好不要在铜网上直接沉积。
然后比如我的薄膜沉积在一般的基底上，然后用刀子把薄膜刮下来然后溶液分散，在放到网上这种方法是不是更好一点？ 这样子的做法会不会导致薄膜的颗粒度测量出现较大误差？


非常感谢 ：）
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4楼2018-03-07 17:20:24
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
4楼: Originally posted by kevin123581 at 2018-03-07 17:20:24
谢谢。我想问一下的就是如果沉积到了铜网上，是不是会影响其他测量，比如无法把薄膜去掉什么的，会导致其他的测量被影响，所以最好不要在铜网上直接沉积。
然后比如我的薄膜沉积在一般的基底上，然后用刀子把薄膜 ...

不明白，影响啥其他测量？刀子刮是下策，可能破碎或者卷曲影响形貌，可以考虑手磨或者减薄一类的，都比较麻烦

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5楼2018-03-07 18:01:58
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-03-07 18:01:58
不明白，影响啥其他测量？刀子刮是下策，可能破碎或者卷曲影响形貌，可以考虑手磨或者减薄一类的，都比较麻烦
...

影响其他测量，比如我镀膜在铜网上了， 如果粒子无法完全清洗掉，其他人测量其他东西的时候会不会有影响，这个意思
铜网应该不是消耗品吧，比如一个网只能用一次？
主要镀膜很薄，附着得也比较紧，不好处理

谢谢
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6楼2018-03-08 09:58:22
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pcceshi9

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
薄膜测试TEM的话需要知道膜的厚度有多少？
如果太厚的话就一定需要进行离子减薄，
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7楼2018-03-08 12:00:13
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by pcceshi9 at 2018-03-08 12:00:13
薄膜测试TEM的话需要知道膜的厚度有多少？
如果太厚的话就一定需要进行离子减薄，

薄膜厚度我可以控制，100nm以下应该没问题。主要是基底的问题，因为薄膜不好转移
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8楼2018-03-08 13:41:15
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