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kevin123581

金虫 (正式写手)

[求助] 薄膜的TEM测试颗粒度的大小 已有2人参与

请问我想要用TEM测量沉积的Si薄膜的颗粒度大小 , 样品应该如何准备才好呢?
听人说薄膜需要直接在铜网上?  还是一般的沉积在基底上也可以?  对薄膜厚度有何要求,样品尺寸大小有何要求?
谢谢大家
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果铜网直接沉积没有影响那最好直接沉积到铜网,如果膜太厚或者铜网会有影响需要用转移或者其他办法处理,厚度越薄越好,高分辨尽量50nm以下

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

3楼2018-03-07 15:06:36
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ekeyan

捐助贵宾 (知名作家)


我们这里可以测tem,磁性非磁性都可以,如需要站内联系,谢谢

发自小木虫Android客户端
2楼2018-03-07 13:59:32
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kevin123581

金虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-03-07 15:06:36
如果铜网直接沉积没有影响那最好直接沉积到铜网,如果膜太厚或者铜网会有影响需要用转移或者其他办法处理,厚度越薄越好,高分辨尽量50nm以下

谢谢。我想问一下的就是如果沉积到了铜网上,是不是会影响其他测量,比如无法把薄膜去掉什么的,会导致其他的测量被影响,所以最好不要在铜网上直接沉积。
然后比如我的薄膜沉积在一般的基底上,然后用刀子把薄膜刮下来然后溶液分散,在放到网上这种方法是不是更好一点? 这样子的做法会不会导致薄膜的颗粒度测量出现较大误差?


非常感谢 :)
4楼2018-03-07 17:20:24
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
4楼: Originally posted by kevin123581 at 2018-03-07 17:20:24
谢谢。我想问一下的就是如果沉积到了铜网上,是不是会影响其他测量,比如无法把薄膜去掉什么的,会导致其他的测量被影响,所以最好不要在铜网上直接沉积。
然后比如我的薄膜沉积在一般的基底上,然后用刀子把薄膜 ...

不明白,影响啥其他测量?刀子刮是下策,可能破碎或者卷曲影响形貌,可以考虑手磨或者减薄一类的,都比较麻烦

发自小木虫Android客户端
5楼2018-03-07 18:01:58
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