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kevin123581金虫 (正式写手)
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[求助]
薄膜的TEM测试颗粒度的大小 已有2人参与
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请问我想要用TEM测量沉积的Si薄膜的颗粒度大小 , 样品应该如何准备才好呢? 听人说薄膜需要直接在铜网上? 还是一般的沉积在基底上也可以? 对薄膜厚度有何要求,样品尺寸大小有何要求? 谢谢大家 |
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gxytju2008
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【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
| 如果铜网直接沉积没有影响那最好直接沉积到铜网,如果膜太厚或者铜网会有影响需要用转移或者其他办法处理,厚度越薄越好,高分辨尽量50nm以下 |
3楼2018-03-07 15:06:36
ekeyan
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kevin123581
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4楼2018-03-07 17:20:24
gxytju2008
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5楼2018-03-07 18:01:58













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kevin123581