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sunxianwen

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】 如何清洗Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底

我实验准备用Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底,我一般清洗衬底,是对衬底超声5分钟;但发现,超声该衬底时,超声不到一分钟,Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底边缘上的Pt层有脱落,我就赶快终止了超声。
请问各位有经验的人士,你们是怎么清洗Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底的?

[ Last edited by sunxianwen on 2009-3-9 at 11:35 ]
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tingyee

金虫 (小有名气)

★
dawnlight(金币+1,VIP+0):3x 3-9 13:56
这样子的结构的话,你就拿酒精漂洗一下就可以了超声我怀疑会轻微的破坏结构
2楼2009-03-09 13:52:50
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sunxianwen

银虫 (正式写手)

酒精漂洗?是只用酒精冲洗吗,只用酒精棉球擦一下,能清洗干净吗?
3楼2009-03-09 14:26:34
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tingyee

金虫 (小有名气)

★
sunxianwen(金币+1,VIP+0):thaks 3-9 16:53
不要擦,就用酒精冲吧,我觉得
4楼2009-03-09 14:48:14
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sunxianwen

银虫 (正式写手)

如果不小心在表面弄上油脂东西,只用酒精不能洗掉,这时该怎么办?
5楼2009-03-09 17:13:32
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silveruranus

铁虫 (正式写手)

★
sunxianwen(金币+1,VIP+0):thaks 3-10 14:42
如果是新的Pt衬底的话,只用去离子水冲下就好,
6楼2009-03-09 22:31:41
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nigo

金虫 (著名写手)

★ ★
sunxianwen(金币+1,VIP+0):thaks 3-10 14:43
dawnlight(金币+1,VIP+0):3x 3-10 14:49
引用回帖:
Originally posted by sunxianwen at 2009-3-9 17:13:
如果不小心在表面弄上油脂东西,只用酒精不能洗掉,这时该怎么办?

先丙酮后酒精再用大量去离子水冲洗
7楼2009-03-09 23:50:05
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sunxianwen

银虫 (正式写手)

谢谢楼上
8楼2009-03-10 14:43:52
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gunnrose

铜虫 (小有名气)

先用 酒精棉 擦拭 然后再 用去离子水 冲洗。不要吝惜 擦拭是的力气 与 冲洗是的 去离子水。
9楼2009-04-08 16:59:30
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ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life

即使有Ti的存在,Pt与Si的结合仍然存在着一定的问题,所以最好还是按2楼和4楼的建议,用酒精冲洗一下
xxxxxxxxxxxxx
10楼2009-04-08 20:31:14
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