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sunxianwen银虫 (正式写手)
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【求助】 如何清洗Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底
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我实验准备用Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底,我一般清洗衬底,是对衬底超声5分钟;但发现,超声该衬底时,超声不到一分钟,Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底边缘上的Pt层有脱落,我就赶快终止了超声。 请问各位有经验的人士,你们是怎么清洗Si/SiO2/TiO2/Pt 衬底的? [ Last edited by sunxianwen on 2009-3-9 at 11:35 ] |
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